FHR wählt DC-Prozessstromversorgungstechnik von Advanced Energy für neues Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem

Die Produkte Ascent(R) AMS, DMS DC und die bipolaren Produkte bieten Innovation,
überragende  Prozessstabilität  und  Zuverlässigkeit  bei  kritischen  SiO2-PVD-
Anwendungen

FORT  COLLINS,  Colorado,  15. Mai  2015 (GLOBE  NEWSWIRE)  --  Advanced  Energy
Industries   Inc.   (Nasdaq:AEIS)   gab   heute   bekannt,  dass  die  bipolaren
Prozessstromversorgungen  sowie  die  Systeme  Ascent  AMS und DMS DC ausgewählt
wurden,    um    die    Energie   für   ein   leistungsfähiges   Rolle-zu-Rolle-
Beschichtungssystem  zu liefern,  das momentan  in Deutschland  gebaut wird. FHR
Anlagenbau    GmbH    (FHR),   ein   deutscher   Hersteller   für   Dünnschicht-
Vakuumprozesssysteme  aus  Ottendorf-Okrilla,  wird  Ascent-Geräte  von Advanced
Energy  (AE) in einem  Inline-Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungssystem mit 1,6 m
Breite und 12 km Rollenlänge einsetzen. Die Anlage ist für einen Kunden in Asien
vorgesehen  und arbeitet  mit PVD-Sputtertechnologie,  um verschiedene Oxidfilme
wie      beispielsweise      Siliziumdioxid     (SiO2)     in     emissionsarmen
Beschichtungsanwendungen aufzubringen.

Die    praxiserprobten    Ascent-Stromversorgungen    liefern    eine   stabile,
reproduzierbare  Prozessleistung,  um  Metall-  und Oxidschichten herausragender
Filmqualität,  Produktivität  und  Ausbeute  in  emissionsarmen  Anwendungen  zu
produzieren.  Diese präzise Bereitstellung  von Energie, die  für die Erreichung
von  Abscheidungen mit hoher Qualität und Geschwindigkeit entscheidend ist, fußt
auf  dem  umfangreichen  unternehmenseigenen  Know-how  von AE, darunter die Arc
Management  System(TM)-Technologie,  eine  leistungsfähige  Boost-Funktion sowie
eine ausgefeilte Echtzeitkontrolle von Dünnschicht-Plasmaparametern.

"Die   neuen   Entwicklungen  bei  Stromversorgungen  der  letzten  Jahre  haben
entscheidend  zu den Technologie- und Produktivitätsfortschritten in PVD-Anlagen
beigetragen",  sagte Sascha Kreher, Leiter Verfahrenstechnik bei FHR Anlagenbau.
"Besonders  auf  dem  Gebiet  von  reaktivem Dual-Magnetron-Sputtering mit hohen
Raten  wurden signifikante  Fortschritte erzielt,  die die Wettbewerbsfähigkeit,
Leistung  und Flexibilität  von FHR-Anlagen  bei führenden  Prozessen gesteigert
hat."

Die  Ascent DMS-Serie  glänzt beim  Management von  Bogenentladungen -  auch bei
kritischen  Prozessmaterialien  wie  SiO2.  Dies  wird durch das bipolare Design
erreicht,  bei  dem  Spannungs-  und  Stromhalbwellen  gemessen  und Bögen rasch
gelöscht  werden. Die  unabhängige Stromsteuerung  jeder Kathode  ermöglicht den
automatischen  Ausgleich des Arbeitszyklus entsprechend dem Verschleißprofil der
einzelnen  Targets, was zu einer erhöhten  Uniformität der Target-Erosion und zu
längeren  Einsätzen  führt.  Eine  steuerbare Pulsanstiegs-Boost-Funktion bietet
deutliche  Vorteile für das Design des  Vakuumsystems und macht aus einem Ascent
DMS-Gerät   eine  Stromquelle  und  trägt  zu  Abscheidungsraten  bei,  die  die
konventionellen  Grenzen weiter  verschieben. Exklusive Stromversorgungsoptionen
wie  eine  wählbare  Frequenz  und  eine unabhängige Stromverhältnisregelung für
jedes   Magnetron   liefern   Leistungsstabilität,  Prozesswiederholbarkeit  und
-übertragbarkeit im Leistungs-, Strom- oder Spannungsregelmodus.

"AE  hat eine  neue Ära  der Präzisionsstromumformung für Dual-Magnetron-Sputter
eingeläutet", sagte Yuval Wasserman, Präsident und CEO von Advanced Energy. "Wir
freuen  uns, dass die  stabile, reproduzierbare Leistungsabgabe  des Ascent AMS-
und  DMS-Reihen FHR dabei hilft, Verfahrensprobleme zu lösen und Innovationen zu
erzielen.  Unsere  Produkte  bieten  außergewöhnliche  Fähigkeiten, damit unsere
Kunden neue Anwendungen entwickeln und neue Möglichkeiten realisieren können."

Über Advanced Energy

Advanced   Energy   (Nasdaq:AEIS)   ist  ein  weltweit  führender  Anbieter  von
innovativen  Stromversorgungs-  und  Steuerungstechnologien  für wachstumsstarke
Präzisionsstromwandlungslösungen.  Das Unternehmen hat  seinen Hauptsitz in Fort
Collins,  Colorado, und unterhält eigene  Support- und Service-Standorte auf der
ganzen Welt. Weitere Informationen finden Sie unter www.advanced-energy.com.

Über die FHR Anlagenbau GmbH

Die  FHR  Anlagenbau  GmbH  in  Ottendorf-Okrilla  ist  auf  die Entwicklung von
innovativen   Dünnschichttechnologien   und   Vakuumbeschichtungsanlagen   sowie
Dienstleistungen   im  Dünnschichtbereich  spezialisiert.  Das  1991 in  Dresden
gegründete   Unternehmen   gehört   seit  2008 zur  centrotherm-Gruppe.  Größtes
Geschäftsfeld  ist der Vakuumbeschichtungsanlagenbau für Industrie und Forschung
zur  Nutzung  von  Bedampfungs-,  Sputter-,  CVD- und ALD-Technologien. Das FHR-
Produktportfolio      umfasst      Vakuumprozessanlagen      für     vielfältige
Wirtschaftsbereiche  wie  die  Photovoltaik,  hier speziell CIGS-Solarzellen und
organische  PV-Technologie,  die  Solarthermie,  die  Optik,  die Elektronik und
Sensortechnik  sowie den Automobilbau. Ein strategischer Produktschwerpunkt sind
Folienbeschichtungsanlagen  für die Herstellung  biegsamer Elektronik, flexibler
Solarzellen   und   organischer  Displayfilme.  Hier  nimmt  FHR  eine  führende
Technologie- und Marktposition ein. In einem weiteren Geschäftsbereich
fertigt FHR Sputtertargets für die Beschichtungsindustrie. Weltweit arbeitet FHR
mit namhaften Industriepartnern und Forschungsinstitutionen zusammen.

KONTAKT: Bates Marshall
         Senior Vice President
         Global Sales, Marketing and Service
         Advanced Energy Industries, Inc.
         +1.408.574.2534



This announcement is distributed by GlobeNewswire on behalf of 
GlobeNewswire clients. The owner of this announcement warrants that: 
(i) the releases contained herein are protected by copyright and 
    other applicable laws; and 
(ii) they are solely responsible for the content, accuracy and 
     originality of the information contained therein. 
    
Source: Advanced Energy Industries, Inc. via GlobeNewswire
[HUG#1921914]